在脫硝過程中，控制氨的注入量非常重要。氨的注入量既要保證有足夠的氨與氮氧化物反應，以降低氮氧化物排放量，又要避免煙氣中逃逸過量的氨。

    注入過量的氨不僅會增加腐蝕，縮短 SCR 催化劑壽命，還會污染煙塵，增加空氣預熱器中銨鹽的沉積，以及增加向大氣的氨排放。特別是銨鹽——硫酸氫胺（ABS）的形成，ABS 在溫度降低時，會吸收煙氣中的水分，形成腐蝕性溶液，會堵塞催化劑，造成催化劑失活（即失效）。煙氣經過空氣預熱器時，在熱交換表面會形成 ABS，并產生沉積，降低空氣預熱器的效率。氨逃逸量的準確測量具有重要意義，對 SCR 出口的氨逃逸量監測并控制在 2-3×10-6（ppm），可延長空氣預熱器檢修周期及催化劑更換周期。

    山東新澤儀器有限公司生產的TR-9300型氨逃逸在線分析儀的核心測量模塊采用的是目前最先進的TDLAS技術。TDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)是可調諧二極管激光吸收光譜技術的簡稱，由于激光二極管采用半導體材料制成，通常又稱為可調諧半導體激光吸收光譜技術。

    TDLAS技術本質是一種吸收光譜技術，也是通過分析光被氣體的選擇吸收測得氣體濃度。采用發射一束光通過待測氣體，在另一端接收，發射器與接收器間的距離確定了光程，測量原理基于比爾定律。因此可以通過對吸收率的測量來反演吸收分子濃度。